原料三氧化硫氣體進(jìn)入煙酸吸收塔經(jīng)發(fā)煙酸噴淋吸收后進(jìn)入煙酸蒸發(fā)器，解析出三氧化硫氣體經(jīng)冷凝成液體進(jìn)入一級(jí)精餾塔脫輕，再進(jìn)入二級(jí)精餾塔脫重。提純后的三氧化硫經(jīng)過(guò)蒸發(fā)器加熱汽化除霧后進(jìn)入吸收塔用高純水進(jìn)行吸收，然后進(jìn)入脫氣塔使用高純空氣脫去二氧化硫氣體，再經(jīng)過(guò)超濾過(guò)濾后得到98%電子級(jí)硫酸。
電子級(jí)硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純?cè)噭?，是半?dǎo)體工業(yè)常用的八大化學(xué)試劑之一，廣泛用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過(guò)程，主要用于硅晶片的清洗和刻蝕，可有效去除晶片上的雜質(zhì)顆粒、無(wú)機(jī)殘留物和碳沉積物。電子級(jí)硫酸用于硅晶片的清洗，已有40多年的歷史，其純度直接影響著集成電路成品率。
目前我國(guó)電子級(jí)硫酸的生產(chǎn)一般采用工業(yè)級(jí)濃硫酸常壓蒸餾法生產(chǎn)，此方法生產(chǎn)電子級(jí)硫酸，能耗大，成本高，有些雜質(zhì)難以除去，產(chǎn)生的廢氣得不到有效處理，不適合大規(guī)模生產(chǎn)。我公司采用脫輕脫重連續(xù)精餾工藝，能耗小、污染少、品質(zhì)可達(dá)到更高等級(jí)。
該裝置可生產(chǎn)各類質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)硫酸，包括EL、UP、UPS、UPSS等質(zhì)量指標(biāo)。
以下為一種典型的電子級(jí)硫酸生產(chǎn)工藝：
電子級(jí)硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純?cè)噭前雽?dǎo)體工業(yè)常用的八大化學(xué)試劑之一，廣泛用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過(guò)程，主要用于硅晶片的清洗和刻蝕，可有效去除晶片上的雜質(zhì)顆粒、無(wú)機(jī)殘留物和碳沉積物。電子級(jí)硫酸用于硅晶片的清洗，已有40多年的歷史，其純度直接影響著集成電路成品率。
目前我國(guó)電子級(jí)硫酸的生產(chǎn)一般采用工業(yè)級(jí)濃硫酸常壓蒸餾法生產(chǎn)，此方法生產(chǎn)電子級(jí)硫酸，能耗大，成本高，有些雜質(zhì)難以除去，產(chǎn)生的廢氣得不到有效處理，不適合大規(guī)模生產(chǎn)。我公司采用脫輕脫重連續(xù)精餾工藝，能耗小、污染少、品質(zhì)可達(dá)到更高等級(jí)。
該裝置可生產(chǎn)各類質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)硫酸，包括EL、UP、UPS、UPSS等質(zhì)量指標(biāo)。
以下為一種典型的電子級(jí)硫酸生產(chǎn)工藝：
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