本設(shè)備可應(yīng)用于爐管前清洗、干法刻蝕工藝后光刻膠去除、氧化物濕法刻蝕或去除、氮化硅膜層濕法去除、剝離去除不同的金屬或非金屬膜層等工藝。
主要規(guī)格：
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：?jiǎn)纹角逑?/p>
3、處理速度：200-300片/h (根據(jù)recipe及處理腔配置變化)
4、設(shè)備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3）
5、路徑線(xiàn)：FOUP高度900±5mm，對(duì)接天車(chē)上下料
6、搬送方式：真空吸盤(pán)機(jī)械手
優(yōu)勢(shì)：
1、處理腔室獨(dú)立，無(wú)交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。
2、高精度配液與濃度檢測(cè)，化學(xué)品可回收循環(huán)利用。
3、配置高壓噴淋和兆聲波輔助技術(shù)，減少表面缺陷40%，提升良率3%-5%。
4、可配置毛刷機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)正反面刷洗。
主要規(guī)格：
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：?jiǎn)纹角逑?/p>
3、處理速度：200-300片/h (根據(jù)recipe及處理腔配置變化)
4、設(shè)備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3）
5、路徑線(xiàn)：FOUP高度900±5mm，對(duì)接天車(chē)上下料
6、搬送方式：真空吸盤(pán)機(jī)械手
優(yōu)勢(shì)：
1、處理腔室獨(dú)立，無(wú)交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。
2、高精度配液與濃度檢測(cè)，化學(xué)品可回收循環(huán)利用。
3、配置高壓噴淋和兆聲波輔助技術(shù)，減少表面缺陷40%，提升良率3%-5%。
4、可配置毛刷機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)正反面刷洗。
電話(huà)：025-57255189/13376073907
采購(gòu)：025-57258357/18951032006
郵箱：chen1101982@163.com
地址：江蘇南京市溧水區(qū)白馬鎮(zhèn)工業(yè)園