原料液氨進(jìn)入蒸發(fā)器中蒸發(fā)，氨氣進(jìn)氣液分離器除霧分離后在吸附塔中用吸附劑吸附去除雜質(zhì)，再經(jīng)過(guò)精密過(guò)濾后輸送至洗滌塔。經(jīng)純化后的氨氣自洗滌塔下部進(jìn)入，自下而上和洗滌母液充分接觸洗滌，然后進(jìn)入吸附塔。高純氨氣自吸收塔下部進(jìn)入，和吸收母液充分接觸吸收，塔頂按適當(dāng)比例加入超純水，吸收放出的熱量由冷卻器帶走，達(dá)到所需濃度后采出氨水至成品罐，經(jīng)過(guò)濾后裝車(chē)。
電子級(jí)氨水主要用于電子行業(yè)的清洗，以及其下游化合物的合成。雖然電子級(jí)氨水與電子級(jí)雙氧水、氫氟酸、硫酸、硝酸等濕電子化學(xué)品相比，它的需求比例相對(duì)較小，但具有不可或缺性。晶圓制造規(guī)格要求高，細(xì)微雜質(zhì)即可導(dǎo)致失敗，因此與普通氨水相比，電子級(jí)氨水技術(shù)壁壘高，且品質(zhì)要求隨著電子產(chǎn)品功能集成度的提升還在不斷提高。
我公司主要采用蒸發(fā)、除水、吸附、多級(jí)洗滌、分離、吸收、超凈過(guò)濾等工藝技術(shù)，值得所需濃度的超凈高純氨水。
該裝置可生產(chǎn)各類(lèi)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)氨水，包括EL、UP、UPS、UPSS等質(zhì)量指標(biāo)。
以下是一種典型的電子級(jí)氨水生產(chǎn)工藝：
電子級(jí)氨水主要用于電子行業(yè)的清洗，以及其下游化合物的合成。雖然電子級(jí)氨水與電子級(jí)雙氧水、氫氟酸、硫酸、硝酸等濕電子化學(xué)品相比，它的需求比例相對(duì)較小，但具有不可或缺性。晶圓制造規(guī)格要求高，細(xì)微雜質(zhì)即可導(dǎo)致失敗，因此與普通氨水相比，電子級(jí)氨水技術(shù)壁壘高，且品質(zhì)要求隨著電子產(chǎn)品功能集成度的提升還在不斷提高。
我公司主要采用蒸發(fā)、除水、吸附、多級(jí)洗滌、分離、吸收、超凈過(guò)濾等工藝技術(shù)，值得所需濃度的超凈高純氨水。
該裝置可生產(chǎn)各類(lèi)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)氨水，包括EL、UP、UPS、UPSS等質(zhì)量指標(biāo)。
以下是一種典型的電子級(jí)氨水生產(chǎn)工藝：
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